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簡(jiǎn)要描述:高低溫真空探針臺(tái)系統(tǒng)主要用于為被測(cè)芯片提供一個(gè)低溫或者高溫的變溫測(cè)量環(huán)境,以便測(cè)量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測(cè)芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件因接觸空氣所帶來(lái)的測(cè)試結(jié)果誤差,是材料學(xué)、芯片、半導(dǎo)體器件等方向?qū)嶒?yàn)分析的理想選擇。
詳細(xì)介紹
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產(chǎn)品介紹
高低溫真空探針臺(tái)系統(tǒng)主要用于為被測(cè)芯片提供一個(gè)低溫或者高溫的變溫測(cè)量環(huán)境,以便測(cè)量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測(cè)芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件因接觸空氣所帶來(lái)的測(cè)試結(jié)果誤差,是材料學(xué)、芯片、半導(dǎo)體器件等方向?qū)嶒?yàn)分析的理想選擇。
技術(shù)優(yōu)勢(shì)
· 控溫范圍可達(dá)-142℃-600℃(如300℃以上需另配水冷系統(tǒng));
· 控溫精度可達(dá)±1℃,顯示精度1℃,溫度均勻性±3℃;
· 極限真空度優(yōu)于2Pa@機(jī)械泵,極限真空度優(yōu)于3*10^(-3)Pa@分子泵組;
· 探針位移重復(fù)定位精度2μm,分辨率3μm,單軸直線度±2μm;
· 三同軸探針夾具,漏電精度100fA,陶瓷結(jié)構(gòu);
· 樣品臺(tái)多個(gè)尺寸可選,常規(guī)有4/6/8/12英寸。
通用參數(shù)
選型表
相關(guān)配件
多種精度,多種夾具類型探針座
同軸線纜,三同軸線纜
各種類型探針
真空泵
電學(xué)測(cè)試夾具
電磁屏蔽箱
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體材料光電檢測(cè),功率器件測(cè)試,MEMS測(cè)試,PCB測(cè)試,液晶面板測(cè)試,測(cè)量表面電阻率測(cè)試,精密儀器生產(chǎn)檢測(cè),航空航天實(shí)驗(yàn)室。
譜量光電可以根據(jù)客戶實(shí)際應(yīng)用需求,定制配套高低溫真空探針臺(tái)系統(tǒng),以達(dá)到更好的測(cè)試效果及更高的性價(jià)比,具體信息可聯(lián)系詳詢
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